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產(chǎn)品中心

當(dāng)前所在的位置：首頁 · 產(chǎn)品中心 · 微納檢查 · 顯微鏡檢查機(jī)系列

在線熒光檢測顯微鏡

1、在線OLED產(chǎn)品不良熒光檢測; 
2、自動(dòng)上下料、自動(dòng)識(shí)別、自動(dòng)檢測; 
3、不良圖片和數(shù)據(jù)自動(dòng)上傳到客戶端系統(tǒng); 高精度運(yùn)動(dòng)載臺(tái); 
4、采用尼康熒光系統(tǒng); 
5、動(dòng)態(tài)對焦技術(shù); 廣角監(jiān)控 CCD; 
6、可檢測項(xiàng)目：蒸鍍偏移、異物、劃傷不良等。
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  • 產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：


此設(shè)備主要應(yīng)用于OLED行業(yè)，為其研發(fā) 、品質(zhì)管控與不良分析提供數(shù)據(jù)的檢測設(shè)備。此設(shè)備是對OLED蒸鍍后的產(chǎn)品進(jìn)行在線檢查，檢查蒸鍍偏位、像素異物、劃傷等不良。


該產(chǎn)品的測量軟件高度集成了測量、缺 陷分析、MS對接、PL C對位控制、多軸運(yùn)動(dòng)速度控制，以及光學(xué)系統(tǒng)調(diào)節(jié)功能(光源調(diào)節(jié)、倍率調(diào)節(jié)、焦距自動(dòng)調(diào)節(jié)等功能) ，與同行業(yè)軟件相比具有高度集成、自動(dòng)控制、人性化操作等方面的優(yōu)勢。


產(chǎn)品參數(shù)：


運(yùn)動(dòng)行程 (mm)

X:1100 Y:1500 (電動(dòng)）

調(diào)焦行程 (mm)

Z軸150m m(電動(dòng)）

主顯微鏡系統(tǒng)

三目觀察筒
目鏡：10倍
物鏡：2.5X、5X（BD）、10X（BD）、 20X（BD）、50X（BD）、100X（BD）
觀察模式 ：反射、透射、熒光、偏光、明場、暗場、DIC5/6孔電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器
熒光系統(tǒng)：波段可選

示值誤差（um）

 

視場外精度 X/Y≤（(5+L/ 200)μm；
Z≤(6+L / 200)μm

照明系統(tǒng)

觀察顯微鏡：汞燈/鹵素/LED 表面光

操作臺(tái)

功能：啟動(dòng)/急停/搖桿操作/速度調(diào)整/ 電腦制開關(guān)/破真空/吸附/局部吸附/ 亮度調(diào)節(jié)/倍率切換/三軸微調(diào)

驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)

X/Y龍門直線電機(jī)雙驅(qū) ，Z軸伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)

外形尺寸 (mm) 長X寬X高

3160*4130*3400

儀器重量 (kg)

13000

玻璃臺(tái)承重(kg)

2.5

儀器電源

220V(AC)±10% 50HZ

運(yùn)行高度 ( mm )

1000

測量軟體

完整的畫面實(shí)時(shí)二維量測自動(dòng)保存圖片自動(dòng)上傳數(shù)據(jù)/主線MS對接實(shí)時(shí)坐標(biāo)定位/支持多款控制器支持多款工業(yè)相機(jī)